Visionpad™3000系列抛光垫旨在达到缺陷水平 Politex™垫 具有垫面平面化的能力 IC1000™垫 在铜屏障过程中. Visionpad™3000系列具有比IC1000™pad更柔软的表面，以改善缺陷性能, 同时保持高刚度，提供优越的平面化.

好处:

• 与IC1000™相比，改进了缺陷
• 与软垫相比，改进了平面化

应用程序:

• 铜的障碍

Visionpad™5000系列设计用于氧化物和钨应用. Visionpad™5000系列pad展示可预测的pad- pad性能, 提供稳定的运行全过程, 与IC1000™焊盘相比，焊盘寿命相似或更长.

好处:

• 与IC1000™相比，改进的平面化
• 较低的切割速率使焊盘寿命更长

用途:

• 钨、STI /二氧化铈、氧化
  

Visionpad™6000系列抛光垫的设计目的是显著改善缺陷和洗盘性能，以及与IC1000™相比，延长抛光垫的寿命.

好处:

• 失步defectivity性能
• 由于切割率低，焊盘寿命长

应用程序:

• 铜块，STI/二氧化铈，氧化物

与IC1000相比，Visionpad™7000系列抛光垫的设计显著提高了使用寿命.

好处:

• 由于切割率低，焊盘寿命长

应用程序:

• 铜块，氧化铈，氧化物，钨

Visionpad™9000系列抛光垫的设计目的是减少缺陷和盘状，与IC1000™相比，延长抛光垫的寿命.

好处:

• 改善defectivity性能
• 提高了凹陷的性能
• 由于切割率低，焊盘寿命长

应用程序:

• 铜块，STI/二氧化铈，氧化物